尾气回收塔

尾气回收塔：针对现有技术中存在的尾气回收装置回收氢气的纯度较低的不足，提供一种多晶硅尾气回收方法及装置，采用该方法和装置能够提高回收 氢气的纯度，并能合理利用多晶硅生产尾气回收过程中的冷量，降低尾气回收能耗。