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尾气回收塔

产品描述:尾气回收塔:传统的多晶硅生产中,产生的尾气主要包括氢气、氯化氢、氯硅烷,所述氯硅烷包 括二氯二氢硅、三氯氢硅、以及四氯化硅,这些尾气主要依靠尾气回收装置来回收其中的氢 气、氯化氢、以及氯硅烷,其中氢气的回收采用活性炭吸附技术,回收后得到的氢气纯度为
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尾气回收塔:传统的多晶硅生产中,产生的尾气主要包括氢气、氯化氢、氯硅烷,所述氯硅烷包 括二氯二氢硅、三氯氢硅、以及四氯化硅,这些尾气主要依靠尾气回收装置来回收其中的氢 气、氯化氢、以及氯硅烷,其中氢气的回收采用活性炭吸附技术,回收后得到的氢气纯度为 98%左右,当将该回收的氢气用于还原系统中生产多晶硅时,由于该氢气中夹带有少量的氯 化氢及氯硅烷气体,进入还原工序后影响多晶硅的沉积速率及产品质量,目前采用的解决 方法主要是增加吸收剂用量、降低吸附柱使用时间、加大吸附柱再生气量等手段,这些手段 造成增加氢气使用量,或增加生产成本。


针对现有技术中存在的尾气回收装置回收氢气的 纯度较低的不足,提供一种多晶硅尾气回收方法及装置,采用该方法和装置能够提高回收 氢气的纯度,并能合理利用多晶硅生产尾气回收过程中的冷量,降低尾气回收能耗,以及能 提商多晶娃广品的品质。本实施例提供一种多晶硅尾气回收方法,其包括如下步骤:


对多晶硅尾气进行冷凝,以将所述多晶硅尾气中的氯硅烷冷凝成液态,并将所述 液态氯硅烷与所述多晶硅尾气中余下的第一混合气分离;


对所述第一混合气进行压缩以使之升压,再将升压后的第一混合气与所述液态氯 硅烷进行气液换热;

经气液换热后的液态氯硅烷进入解析塔,以解析出其中的氯化氢,被解析出氯化 氢之后的液态氯硅烷再进入吸收塔中作为吸收剂,以吸收进入吸收塔的第一混合气中的氯 化氢;

经气液换热后的第一混合气与从吸收塔被吸收氯化氢后出来的第二混合气进行 气气换热;

经气气换热后的第一混合气进入吸收塔中,经气气换热后的第二混合气进入吸附 塔中,以滤除出第二混合气中残余的气态氯化氢和氯硅烷,从而得到纯净的氢气。


本实施例还提供一种多晶硅尾气回收装置,其包括:

冷凝换热器,用于对多晶硅尾气进行冷凝,以将所述多晶硅尾气中的氯硅烷冷凝 成液态;

气液分离罐,与冷凝换热器相连,用于将从冷凝换热器出来的液态氯硅烷与多晶 硅尾气中余下的第一混合气进行分离;

压缩机,与气液分离罐相连,用于对所述第一混合气进行压缩以使之升压;

气液换热器,分别与气液分离罐和压缩机相连,用于对从压缩机中出来的经升压 后的第一混合气以及从气液换热器中出来的液态氯硅烷进行气液换热;

解析塔,与气液换热器相连,用于对从气液换热器中出来的液态氯硅烷进行解析, 以解析出其中的氯化氢;

吸收塔,分别与解析塔和气气换热器相连,解析塔中解析出氯化氢之后的液态氯 硅烷进入吸收塔中,作为吸收塔的吸收剂以吸收从气气换热器中进入吸收塔的第一混合气 中的氯化氢;

气气换热器,与气液换热器相连,用于对从气液换热器出来的第一混合气以及从 吸收塔中出来的被吸收氯化氢之后的第二混合气进行气气换热;

吸附塔,与气气换热器相连,用于对从气气换热器中出来的第二混合气进行吸附, 以滤除出第二混合气中残余的气态氯化氢和氯硅烷,从而得到纯净的氢气。